沈国梁眼中闪过期待：“好啊！早就想亲眼看看193nm深紫外光刻机的实际操作了。”

一行人穿过洁净区走廊，蓝色的防护服将所有人裹得严严实实，只有眼睛露在外面。

光刻区内，几名工程师正围着光刻机调试参数，屏幕上跳动的数据流在昏暗的环境中格外醒目。

而在光刻机的周边，还有很多设备正在定位安装。

沈院士忽然说道，“楚总，你们这台光刻机很新啊，一点也不像二手的。”

楚千澜顺着沈国梁的目光看向光刻机主体，机身外壳的金属光泽均匀，没有明显的使用划痕，连接口处的防尘塞都还保持着完整。

“确实运气好，这台设备是何兰厂商闲置的备用机，05年生产，到现在实际开机时长不到1000小时，保养得比较到位。”

沈国梁俯身观察光刻机的光学镜头保护罩，“如此品质的设备，鹰酱应该禁止对龙国出售运输。能将其买回来，贵公司应该费了不少精力吧！”

楚千澜闻言，深有同感，“这套设备，我们花费3000万欧元，而前前后期的各种准备，我们就耗费了5000万龙国币！好在设备已经到手，不算浪费精力！”

他并没有说明，这价格还包含14台离子注入机。

沈国梁直起身，目光带着一丝感慨：“3000万欧元加5000万龙国币，这价格放在海外确实很高，但能运回国内，但放在国内，也算是物有所值。

在国内，拥有193nm深紫外光刻机，你们的水准已经超过九成同类企业。”

他忽然指向光刻机旁的校准仪器，“这台激光干涉仪是蔡司的最新款吧？用来校准工作台的定位精度，误差能控制在多少？”

王世杰上前一步，语气带着几分自豪：“目前初步校准后，定位误差稳定在±0.02微米，后续经过精细调试，能压缩到±0.015微米以内，完全满足180nm制程的要求。”